Oblúkové odparovanie PVD zariadenia

Priemyselný katódový oblúkový evaporačný PVD systém využíva nízkonapäťové, vysokoprúdové elektrické oblúky na odparovanie pevných katódových terčíkov vo vákuovom prostredí. Tento mechanizmus dosahuje mieru ionizácie kovu presahujúcu 80%, čo zaisťuje vysokú pevnosť chemickej väzby a priľnavosť substrátu v porovnaní s tepelným naparovaním alebo štandardným magnetrónovým naprašovaním.

Systém bol navrhnutý pre nepretržitú viac{0}}smennú výrobu a integruje ťažkú-vákuovú komoru z nehrdzavejúcej ocele, modulárne katódové riadiace zostavy a architektúru automatizovaného riadenia procesov založenú na PLC-.

Vysoká ionizačná účinnosť:Priame odparovanie katódy vytvára plne ionizovanú kovovú plazmu pre hustý, defektný-riadený tenký{1}}vrstvový rast pri miernych teplotách.

Možnosť magnetického filtrovaného oblúka:Integrované elektromagnetické cievky riadenia minimalizujú vyhadzovanie makročastíc (kvapôčok) a poskytujú hladké povrchové úpravy pre presné obrábanie.

Viac{0}}vrstvové/prechodové ukladanie:Synchrónna multi{0}}katódová prevádzka umožňuje syntézu stupňovitých prechodových vrstiev (napr. Ti/TiN/TiAlN) bez narušenia vákua.

Uzavretá{0}}kontrola procesu:Slučky spätnej väzby{0}}v reálnom čase regulujú reaktívny prietok plynu (dusík, acetylén, kyslík) prostredníctvom vysoko presných{1}}regulátorov hmotnostného prietoku (MFC), aby sa udržiavali cieľové parciálne tlaky.

Čerpací zásobník:Primárne hrubovanie využíva dvoj{0}}stupňové rotačné lamelové čerpadlá podporované Rootsovými dúchadlami. Dosahovanie vysokého-vákua závisí od-vysokovýkonných difúznych čerpadiel alebo turbomolekulárnych čerpadiel.

Ventily a potrubia:Pneumatické uhlové ventily a elektropneumatické posúvače automaticky izolujú zóny komory. Rozdeľovače používajú prírubové rúrky z nehrdzavejúcej ocele ISO/KF a CF so striebornými-pokovovanými medenými tesneniami alebo O-krúžkami z Vitonu.

Detekcia úniku:Integrované testovacie porty héliového hmotnostného spektrometra umožňujú diagnostiku až do 10^-10 Pa*m^3/s.

Kompatibilné katódové materiály
Čisté kovy:Zliatiny Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Ag, TiAl (napr. atómové pomery 50/50 alebo 33/67).

Zložené ciele:TiC, CrC, WC.

Kompatibilita substrátu
Nástrojové ocele:Rýchlorezné ocele (M2, H13) a slinuté karbidy (WC-Co doštičky).

Konštrukčné zliatiny:Nehrdzavejúca oceľ, zliatiny titánu (TC4) a superzliatiny-niklu.

Technická keramika:Nitrid kremíka a oxid hlinitý s vodivou pred{0}}úpravou.

Nástroje na rezanie a tvarovanie:TiN, TiAlN, and AlTiN coatings on carbide drills and milling cutters. Achieves surface hardness >= 3000 HV a predlžuje životnosť nástroja o 200 % - 400%.

Automobilové komponenty:Povlaky proti{0}}opotrebeniu na piestnych krúžkoch, zdvíhadlách a ihlách vstrekovačov paliva. Znižuje koeficient trenia na 0.15 - 0.25 voči oceli.

Lekárske implantáty: Biocompatible TiN and ZrN layers applied to orthopedic joints and dental abutments, verified via scratch adhesion testing (Critical Load Lc >= 70 N).

Formy a matrice:Povlaky CrN alebo DLC na vstrekovacích a lisovacích formách plastov na elimináciu opotrebenia lepidla a uľahčenie uvoľnenia obrobku.

Geometria komory:Konfigurácie nakladania typu zvislej jamky- alebo vodorovného predného-nakladania.

Rozloženie zdroja:Vlastné umiestnenie katód prispôsobené pre 3D geometriu obrobku (napr. dlhé vytláčacie lisovnice alebo lopatky turbíny).

Inovácie generátora zaujatosti:Integrácia hybridných modulov-impulzného magnetrónového naprašovania (HIPIMS) s vysokým výkonom.

Integrácia automatizácie:Rozhrania pre robotické nakladanie a automatizované koľajnice na prenos prípravkov pre prostredie čistých priestorov.

Pred výrobným testovaním (FAT) prechádzajú systémy:

Testovanie netesnosti vákua:Overenie héliovým hmotnostným spektrometrom na všetkých zvaroch a tesneniach.

Overenie elektrickej bezpečnosti:Kontroly izolačného odporu, kontinuity uzemnenia a logiky blokovania v súlade s normami CE/UL.

Funkčné zapálenie-:72-hodinový nepretržitý test rotačných pohonov, prietokových spínačov a komunikácie PLC nasucho.

Skúška náteru:Nanášanie vzorky overené meraním hrúbky filmu s guľôčkovým-kráterom a testovaním vrúbkovania podľa Rockwella.

Príprava miesta:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow (>15 m^3/h, 20 - 25 °C), stlačený vzduch, ventilácia a elektrické kvapky (380 V/480 V, 3-fázové, 50/60 Hz).

Uvedenie do prevádzky:Inštaláciu na mieste, vákuovú kalibráciu a optimalizáciu receptúry vykonávajú starší procesní inžinieri.

Školenie operátora:Praktické{0}}pokyny týkajúce sa bežnej údržby, výmeny terča a prevádzky SCADA.

Po-podpora predaja:Vzdialený diagnostický prístup cez zabezpečenú priemyselnú VPN; garantovaná technická odozva do 24 hodín.