Multi-oblúkový iónový tenký filmový systém

Priemyselný multi{0}}oblúkový iónový tenký filmový systém využíva katódové oblúkové odparovanie na nanášanie hustých, vysoko{1}}adhéznych keramických a kovových povlakov na kovové a zliatinové substráty. Odparovaním pevných katódových materiálov vo vákuovom prostredí prostredníctvom elektrických oblúkov s vysokým -prúdom a nízkym-napätím systém ionizuje pary kovu interagujúce s reaktívnymi plynmi (ako je dusík, acetylén alebo kyslík) a vytvára stechiometrické zložené filmy.

Táto platforma, navrhnutá pre prostredia nepretržitej výroby, obsahuje špeciálne nástrojové prípravky na dávkové spracovanie presných rezných nástrojov, automobilových komponentov a priemyselného hardvéru odolného-opotrebeniu.

Magnetické-katódy riadiaceho oblúka:Magnetické polia v uzavretej{0}slučke vedú trajektóriu katódového oblúka po povrchu cieľa, čím zvyšujú mieru využitia cieľa na viac ako 60 % a znižujú tvorbu makro-kvapôčok.

Potlačenie rýchleho oblúka:Zdroje vysokofrekvenčného impulzného predpätia obsahujú obvody rýchleho zhášania oblúka-, aby zabránili lokalizovaným mikro-oblúkom poškodzovať povrch substrátu počas reaktívneho nanášania.

Duálny-režim depozície:Architektúra systému podporuje rýchlu integráciu nevyvážených magnetrónových naprašovacích katód (UMS) popri štandardných oblúkových zdrojoch pre hybridné nanášanie vrstiev (napr. gradientové vrstvy).

Automatizované riadenie procesov:PLC spárované s riadiacim softvérom založeným na receptúre-založeného na priemyselnom PC, zaznamenávaní tlaku v komore, hmotnostných prietokov plynu (MFC), odchýlky substrátu a prúdu oblúka v reálnom čase na sledovanie šarže.

Pneumatické vákuové ventily:Pneumaticky ovládané posúvače a uhlové ventily izolujú sekcie komory, čím sa minimalizujú prestoje na údržbu a cykly odčerpávania-.

Evakuácia systému využíva viacstupňovú{0}}konfiguráciu navrhnutú na dosiahnutie prevádzkového tlaku do 15 minút:

Fáza hrubovania:Dvojstupňové{0}}mechanické rotačné lamelové čerpadlá odstraňujú primárny atmosférický vzduch až do 10 Pa.

Stredná fáza:Rootsove dúchadlá urýchľujú objemový posun, aby preklenuli tlakový rozsah.

Stupeň vysokého vákua:Olejové difúzne čerpadlá alebo kryogénne/molekulárne čerpadlá dosahujú konečný základný tlak 5,0 x 10^-3 Pa pred naplnením plynom a iónovým čistením.

Subsystém dodávky plynu:Viac{0}}kanálové regulátory hmotnostného prietoku (MFC) merajú vysokú-čistotu procesných plynov (Ar, N2, C2H2, O2) s toleranciou stability prietoku +/- 1 % v plnom rozsahu.

Katódové terče
Kovové terče:Ti, Cr, Al, Zr, TiAl (50/50, 67/33 atómové pomery), WC, nehrdzavejúca oceľ.

Štandard čistoty:>= 99.99 % vákuovo roztavené a valcované.

Substrátové materiály
Nástrojové ocele:H13, SKD11, M2, D2 (vopredupravené-a temperované pod teplotu nanášania povlaku).

Karbidy:Slinuté karbidy volfrámu (WC-Co).

Technické zliatiny:Zliatiny titánu (TC4), nehrdzavejúca oceľ (304/316) a zliatiny medi (v závislosti od príslušenstva).

Presné rezné nástroje:Nanášanie povlakov TiAlN a AlCrN na stopkové frézy a odvalovacie frézy z karbidu volfrámu dosahuje povrchovú tvrdosť 3300 - 3500 HV. Údaje z overenia v teréne ukazujú 2,5-násobné predĺženie životnosti nástroja pri vysokej-rýchlosti suchého obrábania.

Formy a matrice:Povrchové vytvrdzovanie plastových vstrekovacích foriem a lisovacích foriem H13 a SKD11, aby sa zabránilo tepelnej únave, opotrebovaniu lepidla a zadretiu.

Automobilové komponenty:Povlaky DLC (Diamond-like Carbon) a CrN s nízkym{0}}trením, odolné voči opotrebovaniu{1}} aplikované na piestne krúžky, čapy vstrekovačov paliva a zdviháky ventilov na zníženie hraničných koeficientov trenia pod 0,1.

Funkčný hardvér:Dekoratívne a zároveň odolné povrchové úpravy-oteru (TiCN, ZrN) pre priemyselné sanitárne armatúry a špičkové-mechanické komponenty.

Inžinierske konfigurácie sa prispôsobujú obmedzeniam zariadenia a geometrii komponentov:

Geometria komory:Konfigurácie nakladacích dvierok typu -v zvislej jamke alebo vodorovných predných{1}}dvierok.

Upínacie prípravky:Planetárne, jednoduché{0}}rotačné alebo prispôsobené satelitné zariadenia prispôsobené zložitým 3D geometriám obrobkov.

Výber čerpacieho zásobníka:Možnosti konfigurácie pre balíky na difúziu oleja, turbomolekulárne alebo kryopumpy v závislosti od štandardov čistých priestorov a cieľových časov-odčerpávania.

Integrácia plynu a energie:Vlastné elektrické transformátory pre regionálne sieťové štandardy (napr. 480V/60Hz, 415V/50Hz) a integrácia s-centrálnymi systémami čistenia výfukových plynov na strane klienta.

Každý depozičný systém prechádza pred odoslaním prísnym overením kvality:

Detekcia úniku hélia:Testovanie netesnosti hélia pomocou hmotnostného spektrometra vykonané na všetkých vákuových komorách a zvaroch (miera úniku<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Overenie elektrickej bezpečnosti:Izolačný odpor, kontinuita uzemnenia a vysokonapäťové dielektrikum odolajú testom v súlade s elektrickými normami CE/IEC.

Funkčný chod nasucho:72-hodinový nepretržitý suchý cyklus mechanických rotačných mechanizmov, pneumatických ventilov a snímačov blokovania chladiacej vody.

Akceptačný test procesu:Vzorka náteru vykonaná vo výrobnom závode na overenie rovnomernosti hrúbky filmu, tvrdosti a priľnavosti (test poškriabaním / Rockwellova vrúbka).

Pokyny na prípravu lokality:Komplexná dokumentácia rozmiestnenia zariadenia s podrobnými požiadavkami na zaťaženie podlahy, umiestnenie výfukového potrubia, rozmery vodovodného potrubia a elektrické rozvody dodávané 4 týždne pred odoslaním.

Uvedenie do prevádzky:-Inštaláciu na mieste, vákuovú kalibráciu a elektrické pripájanie-vykonávajú servisní technici.

Proces odovzdania receptu:Základné receptúry náterov (TiN, TiAlN) vyvinuté, testované a prenesené počas prevzatia v továrni alebo-uvedenia do prevádzky na mieste.

Náhradné diely a diagnostika:Vzdialený diagnostický modul integrovaný do PLC na rýchle riešenie problémov, podporovaný lokálnym skladovaním kritických tesnení, katódových terčov a tieniacich platní.