Prehľad produktov
Priemyselný systém katódového oblúkového odparovania je produkčná -platforma na fyzikálne nanášanie z pár (PVD) vyvinutá na nanášanie tvrdých povlakov-odolných proti opotrebeniu, korózii-a s nízkym -trením. Použitím nízkonapäťových a vysokoprúdových elektrických oblúkov sa pevné katódové terče v mieste katódy okamžite odparia a ionizujú, čím sa vytvorí vysoko ionizovaná kovová plazma.
Tento systém, navrhnutý a vyrobený v súlade s normami riadenia kvality ISO 9001 a smernicami CE, je nakonfigurovaný pre vysokovýkonné operácie povrchovej úpravy vo výrobe nástrojov, automobilových komponentov a priemyselného hardvéru. Štandardné konfigurácie integrujú viac-katódové rozloženia s nezávislým riadením magnetického-pola, programovateľné jednosmerné/pulzné napájacie zdroje a automatizované riadenie vákua na udržanie konzistentnej stechiometrie filmu a hustých mikroštruktúr.
-
![Arc Evaporation Thin Film System]()
Arc Evaporation Thin Film SystemPriemyselný katódový oblúkový odparovací tenký filmový systém je navrhnutý na vysokorýchlostné nanášanie hustých, silne priľnavých kovových, zliatinových a keramických povlakov. Systém, ktorý...Zobraziť viac -
![Oblúkové odparovanie PVD zariadenia]()
Oblúkové odparovanie PVD zariadeniaPriemyselný katódový oblúkový evaporačný PVD systém využíva nízkonapäťové, vysokoprúdové elektrické oblúky na odparovanie pevných katódových terčíkov vo vákuovom prostredí. Tento mechanizmus...Zobraziť viac -
![Vákuový oblúkový tenký filmový systém]()
Vákuový oblúkový tenký filmový systémIndustrial Vacuum Arc Thin Film System využíva katódové oblúkové odparovanie na nanášanie hustých, vysoko priľnavých kovových, zliatinových a keramických tenkých vrstiev. Vysokoprúdový a...Zobraziť viac -
![Zariadenie na tenký film s katódovým oblúkom]()
Zariadenie na tenký film s katódovým oblúkomSystém fyzikálnej depozície z plynnej fázy (PVD) využívajúci lokalizované nízkonapäťové{0}}vysokoprúdové{1}}elektrické oblúky na odparovanie pevných katódových cieľov na plne ionizovanú plazmu....Zobraziť viac -
![Zariadenia na nanášanie oblúkovým odparovaním]()
Zariadenia na nanášanie oblúkovým odparovanímPlatforma priemyselného fyzikálnej depozície z pár (PVD) navrhnutá pre-vysokorýchlostnú syntézu hustých, opotrebenia-odolných a funkčných tvrdých povlakov. Udržiavanie vysokoprúdového,...Zobraziť viac
Technické špecifikácie
|
Parameter |
Rozsah špecifikácií / štandardná konfigurácia |
|
Rozmery komory |
Priemer: 800 mm - 1800 mm (Prispôsobiteľné vertikálne/horizontálne rozloženie) |
|
Komorový materiál |
Dvojitá-nehrdzavejúca oceľ SUS304 s vnútornými kanálmi na chladenie vodou- |
|
Konečný vákuový tlak |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
|
Konfigurácia katódy |
4 až 12 obdĺžnikových/kruhových oblúkových zdrojov s elektromagnetickým riadením |
|
Oblúkové napájanie |
300 A - 500Nastaviteľný konštantný prúd, zvlnenie<= 2% |
|
Substrate Bias Power |
0 až -1000 V nastaviteľná, pulzná predpätie 10 kHz - 100 kHz |
|
Vykurovací systém |
Pole sálavého ohrievača, maximálna rovnomernosť teploty 600 stupňov +/- 5 stupňov |
|
Rotácia obrobku |
Planétová alebo dvojosová rotácia{0} poháňaná magnetickou kvapalinovou priechodkou |
|
Kontrolný systém |
PLC + priemyselné PC, automatizované sekvenčné riadenie-riadené receptom |
|
Požiadavky na úžitkové vlastnosti |
Chladiaca voda: 0,25-0,35 MPa, 20-25 stupňov; Napájanie: 380V/480V, 3-fázové, 50/60 Hz |
Proces oblúkového odparovania
Cyklus nanášania funguje pod prísnou procedurálnou kontrolou, aby sa zaručila integrita filmu a priľnavosť rozhrania:
Evakuácia a odplynenie:
Vákuová komora sa čerpá až na základný tlak. Substráty sa zahrievajú vo vákuu, aby sa eliminovali povrchové prchavé látky a zvyšková vlhkosť.
01
Plazmové leptanie (čistenie):
Bombardovanie kovovými iónmi (pomocou titánových alebo chrómových cieľových zdrojov) čistí povrch substrátu na atómovej úrovni, odstraňuje prirodzené oxidy a aktivuje rozhranie.
02
Reaktívna depozícia:
Reaktívne plyny (N2, CH4, O2) sa vstrekujú do komory cez regulátory hmotnostného toku (MFC), aby reagovali s tokom kovovej plazmy (napr. Ti, Cr, AlTi) a vytvorili zložené filmy, ako je TiN, TiAlN alebo CrN.
03
Chladenie a vetranie:
Chladenie po{0}}depozícii prebieha v ochrannej atmosfére inertného plynu pred odvzdušnením komory a vybratím dielu.
04
Podporované katódové ciele
Titán (Ti) a titánový hliník (TiAl):Základné materiály pre štandardné TiN a povlaky TiAlN s vysokou -oxidačnou{1}}odolnosťou (odolné oxidácii až do 900 stupňov ).
Chróm (Cr):Používa sa na dekoratívne povrchové úpravy a vrstvy CrN/CrC-odolné voči korózii.
Zirkónium (Zr) a titánový kremík (TiSi):Používa sa na špecializované dekoratívne a nanokompozitné filmy{0}}odolné extrémnemu opotrebeniu.
Kompatibilné podkladové materiály
Vysokorýchlostná-oceľ (HSS):Skrutkové vrtáky, stopkové frézy, odvalovacie dosky a preťahovače.
Slinuté karbidy (WC-Co):Vymeniteľné doštičky, výstružníky a tvárniace matrice.
Inžinierske ocele a zliatiny:Súčiastky automobilových ventilov, ozubené kolesá, sanitárne vybavenie z nehrdzavejúcej ocele a titánové lekárske implantáty.
Aplikácie a vplyv na výkon
Nástroje na rezanie kovov:
Nanášanie povlakov TiAlN a AlCrN na karbidové doštičky a stopkové frézy, čím sa predlžuje životnosť nástroja o 200 % až 300 % a umožňuje suché vysokorýchlostné obrábanie.
Formovacie a raziace matrice:
Aplikácia hustých povlakov s nízkym{0}}trením na zníženie opotrebenia lepidla, odierania a lepenia obrobku počas hlbokého ťahania, čím sa skrátia prestoje až o 40 %.
Automobilové hnacie ústrojenstvo:
Ošetrenie piestnych krúžkov, čapov vstrekovania paliva a zdvíhadiel, aby sa minimalizoval hraničný koeficient trenia na < 0,15 a zabránilo sa opotrebovaniu odieraním.
Priemyselný hardvér a sanitárna batéria:
Tvrdé dekoratívne PVD vrstvy (TiN zlato, ružové zlato, čierne zirkónium), ktoré prešli minimálne 500-hodinovým testom v neutrálnom soľnom spreji (ASTM B117).
Prispôsobenie a konfigurácia procesov
Rozloženie zariadení sa mení podľa objemu výroby, geometrie dielu a pôdorysu továrne:
Geometria komory:
Vertikálne nosné konštrukcie pre ťažké nástroje; horizontálne dávkové konfigurácie pre-vysokokapacitné nakladanie príslušenstva.
Integrácia zdroja:
Hybridné konfigurácie spájajúce zdroje katódového oblúka s nevyváženými katódami magnetrónového naprašovania (RMS) na nanášanie hladkých viacvrstvových{0}}architektúr bez kvapôčok.
Filtračné systémy:
Voliteľné magnetické makročasticové filtre (filtre s riadeným oblúkom) inštalované na katódových kanáloch na elimináciu makro-kvapôčok pre optické alebo ultra{1}}hladké a presné funkčné povlaky.
Rozhranie automatizácie:
Integrácia-pripravená pre robotické nakladacie ramená a dávkové usporiadanie s automatickým riadeným vozidlom (AGV).
Štrukturálna integrita:Telesá komôr sa podrobujú testovaniu netesnosti héliovým hmotnostným spektrometrom pri prahovej hodnote citlivosti<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
Elektrická bezpečnosť a zhoda:Postavené striktne podľa smerníc CE a IEC pre elektrickú bezpečnosť, zahŕňajúce úplné testovanie izolácie a núdzové bezpečnostné blokovanie.
Funkčné{0}}vypnutie (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell indentation HF1-HF2) sú pred odoslaním overené na štandardných testovacích kupónoch.
Inštalácia a technická podpora
Balíček na prípravu miesta:
Komplexné výkresy rozmiestnenia inžinierskych sietí s podrobnými údajmi o prietokoch chladiacej vody, odsávacej ventilácii, nosnosti podlahy a špecifikáciách elektrického spádu boli poskytnuté 4 týždne po-zmluve.
Uvedenie do prevádzky na-stránke:
Procesní inžinieri s{0}}certifikáciou vo výrobe sa starajú o mechanické zarovnanie, detekciu úniku vákua, elektrickú integráciu a počiatočné nastavenie základnej receptúry v zariadení klienta.
Spracovať prenos receptu:
Dodávka zahŕňa štandardné základné receptúry (TiN, TiAlN, CrN) a prevádzkové školenia pre interné údržbárske a inžinierske tímy.
Vzdialená podpora diagnostiky:
Systémy vybavené zabezpečenými bránami priemyselných smerovačov na vzdialené riešenie problémov s parametrami a diagnostiku logiky PLC.
FAQ
Sme dobre-známi ako jeden z popredných výrobcov a dodávateľov zariadení na oblúkové odparovanie v Číne. Ak sa chystáte kúpiť prispôsobené zariadenie na oblúkové odparovanie vyrobené v Číne, vitajte a získajte cenník z našej továrne. Pre cenovú konzultáciu nás kontaktujte.
stabilné tenké filmové vybavenie, Tenké filmové vybavenie na ukladanie údajov, tenké filmové vybavenie pre aplikácie na výrobu fotoniky
