Zariadenie na tenký film s katódovým oblúkom

Systém fyzikálnej depozície z plynnej fázy (PVD) využívajúci lokalizované nízkonapäťové{0}}vysokoprúdové{1}}elektrické oblúky na odparovanie pevných katódových cieľov na plne ionizovanú plazmu. Vysoká miera ionizácie (40 %{5}}80 %) poháňa hustú väzbu na atómovej-úrovni a vysoké tlakové napätie, čo umožňuje-nanášanie dekoratívnych povlakov odolných voči opotrebovaniu- na rýchloreznej oceli (HSS), karbidových rezných nástrojoch, automobilových komponentoch a lekárskych prístrojoch.

Vysoká ionizačná účinnosť:Plazmová ionizácia dosahuje 40 %-80 %, čo zaisťuje vynikajúcu priľnavosť filmu- k substrátu.

Modulárne katódy:Rýchla{0}}výmena cieľovej zostavy minimalizuje prestoje spojené s údržbou; kompatibilný s rovinnými a otočnými valcovými katódami.

Uzavretá{0}}regulácia plynu:Regulátory hmotnostného prietoku MKS udržujú presné parciálne tlaky reaktívneho plynu pre zložené filmy (TiAlN, TiCN).

Viac{0}}osové planetárne otáčanie:Prispôsobené rotačné a rotačné pohony zaisťujú rovnomernosť hrúbky (± 5 %) v zložitých 3D geometriách.

Prevádzka v dvoch{0}}režimoch:Podporuje jednosmerné oblúkové odparovanie a integráciu pulzného naprašovania pre viac{0}}vrstvové architektúry.

Hrubovacie čerpadlá:Kombinácia Rootsovej a rotačnej lopatkovej pumpy na rýchle pumpovanie-z atmosféry na 10 Pa.

Vysoká vákuová pumpa:Magneticky levitované turbomolekulárne čerpadlo (1600–3200 l/s) zaisťujúce základný tlak-bez uhľovodíkov.

Ventily a meranie:Pneumatické vysoko vákuové posúvače{0}}s blokovaním Pirani a studenou katódou, aby sa zabránilo spätnému toku oleja.

[Vizuálna príručka pre webového producenta]:Vložte schematickú alebo jasnú fotografiu usporiadania vákuového potrubia so zvýraznením polohy turbomolekulárneho čerpadla a pneumatického posúvača.

Štandardné katódové ciele (čistota väčšia alebo rovná 99,95 %)
Prechodné kovy:Ti, Cr, Zr, Al, TiAl (50/50, 33/67 atómové pomery), CrAl, W, Nb, Si.

Zliatiny a zlúčeniny:Grafit (pre medzivrstvy DLC), nehrdzavejúca oceľ.

Kompatibilita substrátu a pred{0}}úprava
Materiály:WC-Co rezné nástroje, odvalovacie frézy, preťahovače, raznice, vstrekovacie formy, zliatiny titánu (trieda 5) a nehrdzavejúca oceľ.

Pred-liečba:Ultrazvukové odmasťovanie rozpúšťadlom a čistenie in situ iónovým bombardovaním (Ar⁺ plazmové leptanie) vo vnútri komory pred nanesením.

Nástroje na rezanie a tvarovanie:Povlaky TiN, TiAlN a AlCrN zvyšujú tvrdosť povrchu na 3000–3500 HV, čím potláčajú tepelné krátery a abrazívne opotrebenie.

Automobilové komponenty:Povlaky znižujúce trenie- na piestne krúžky, čapy vstrekovania paliva a súčasti prevodovky.

Lekárske implantáty:Biokompatibilné tvrdé povlaky TiN a ZrN na ortopedických kĺbových náhradách a chirurgických skrutkách.

Dekoratívny hardvér:Výroba farebného spektra (zlatá mosadz, ružové zlato, bronzová čierna, titánová sivá) pomocou ladenia reaktívnym plynom.

Geometria komory:Konfigurácie vertikálneho nakladania (-namontované alebo na podlahe-) alebo horizontálne predné-nakladanie.

Konfigurácia zdroja:Zdroje magnetického kanála s filtrovaným katódovým oblúkom (FAC) na elimináciu makročastíc pre optickú alebo presnú elektroniku.

automatizácia:Robotické nakladacie ramená, integrácia AGV dokovania a protokoly MES na zaznamenávanie údajov.

Detekcia úniku:Testovanie héliovým hmotnostným spektrometrom na všetkých komorách a zvarových švoch ( menšie alebo rovné 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s).

Elektrická bezpečnosť:Overenie funkčnosti vysokého-izolačného odporu, kontinuity uzemnenia a blokovania PLC.

Skúšobná prevádzka (FAT):72-hodinový nepretržitý suchý-test plus štandardný test nanášania povlaku hodnotený pomocou Calo-testu (hrúbka) a škrabancov (adhézia).

Balík dokumentácie:Elektrické schémy, P&ID diagramy, PLC zdrojové kódy, materiálové certifikáty a FAT správy.

Príprava miesta:Podrobné výkresy rozloženia, metriky chladiacej vody a špecifikácie distribúcie energie poskytnuté 4 týždne pred odoslaním.

Uvedenie do prevádzky:Mechanická montáž-na mieste, vákuová kalibrácia a odovzdanie receptúry staršími procesnými inžiniermi.

Školenie:Praktické-pokyny týkajúce sa údržby hardvéru, riešenia problémov s vysávačom a bezpečnostných protokolov.

Podpora:Vzdialená integrácia diagnostického softvéru na riešenie problémov s PLC v reálnom čase- s podporou regionálneho inventára náhradných dielov.