Zariadenia na nanášanie oblúkovým odparovaním

Platforma priemyselného fyzikálnej depozície z pár (PVD) navrhnutá pre-vysokorýchlostnú syntézu hustých, opotrebenia-odolných a funkčných tvrdých povlakov. Udržiavanie vysokoprúdového, nízkonapäťového katódového oblúkového výboja na pevných povrchoch terča generuje 80 % až takmer 100 % ionizovaného prúdu plazmy.

V kombinácii s programovateľným negatívnym vychýlením substrátu táto vysoká kinetická energia poháňa miešanie na rozhraní atómového-rozsahu, čím sa dosahuje vynikajúca priľnavosť filmu a nulová stĺpcová pórovitosť. Architektúra komory podporuje modulárne viac{2}}katódové konfigurácie pre automatizované nanášanie jednovrstvových, viac{4}}vrstvových nano-laminátov a stechiometrických gradientových povlakov (TiN, TiAlN, CrN, TiCN).

Vysoká miera ionizácie:Priame katodické odparovanie premieňa kovový tok na ióny s vysokou -hustotou, čím sa podporuje hustá štruktúra zŕn bez mikro-dutín.

Aktívne magnetické riadenie:Programovateľné elektromagnetické cievky prechádzajú oblúkovým bodom cez cieľové plochy, potláčajú lokalizované krátery a riadia využitie materiálu cieľa nad 60 %.

Dynamická kontrola plynu:Regulátory hmotnostného toku (MFC) v uzavretej{0}slučke regulujú vstrekovanie reaktívneho plynu (N2, O2, C2H2) prostredníctvom spätnej väzby parciálneho tlaku v-reálnom čase.

Viac{0}}zdrojová synergia:Steny komory sú prispôsobené rozloženiam hybridných cieľov, čo umožňuje neprerušované postupné nanášanie viaczložkových keramických vrstiev v jedinom cykle vákua.

Skupina hrubovania a koreňov:Rotačné lopatkové čerpadlo s priamym{0}}pohonom spárované s-vysokoobjemovým Rootsovým dúchadlom na zvládanie vysokého zaťaženia plynu počas reaktívneho spracovania.

Stupeň vysokého vákua:Magnetic levitation turbomolecular pump (>= 1600 l/s) pripojený cez vysoko{1}}vodivý pneumatický posúvač.

Vákuové prístroje:Prepojené nastavenie Piraniho a studenej katódy s duálnym{0}}tlakom na monitorovanie celkového tlaku v rozsahu od atmosféry až po 10^-6 Pa.

Integrita úniku:Elastomérové-utesnené príruby s vodným{1}}chladením{1}}udržiavajú úniky systému pod 1,0 x 10^-9 Pa*m3/s.

Katódové cieľové materiály
Prechodové kovy a zliatiny:Titán (Ti), chróm (Cr), zirkón (Zr), hliník (Al), titán{0}}hliník (TiAl 50/50, 33/67), volfrám (W).

Ne-kovové:Vysoko{0}}grafit (C) pre diamantové-uhlíkové (DLC) a karbidové vrstvy.

Priemyselné substráty
Nástrojové ocele a karbidy:Vysokorýchlostná-oceľ (HSS), slinuté karbidy (WC-Co).

Konštrukčné zliatiny:Austenitické/martenzitické nehrdzavejúce ocele, zliatiny titánu (TC4), -niklové superzliatiny (Inconel).

Presné rezné nástroje:Nanášanie TiAlN a AlTiN na vrtáky, stopkové frézy a ozubené dosky na zvýšenie tvrdosti povrchu na 3300-3500 HV a zvýšenie odolnosti proti tepelnej oxidácii až o 800 stupňov.

Automobilové inžinierstvo:Povlaky s nízkym{0}}trením a opotrebením- na komponentoch vstrekovania paliva, piestnych krúžkoch a zdvihátkách.

Formy a matrice:Nanášanie nitridu chrómu (CrN) na plastové vstrekovacie formy, aby sa zabránilo opotrebovaniu lepidla, mikro-zváraniu a lepeniu živice.

Veľkosť komory:Geometrické úpravy prispôsobené pre nadrozmerné architektonické panely alebo vysokovýkonné{0}}kausely s malými nástrojmi.

Hybridizácia zdroja:Integrácia zdrojov katódového oblúka s nevyváženým magnetrónovým (UBM) naprašovaním alebo katódami HiPIMS do jednotného tela.

Rozhrania automatizácie:Továrenská integrácia MES prostredníctvom protokolov OPC{0}}UA spolu s automatickými možnosťami nakladania.

Overenie úniku hélia:Kontrola tesnosti hmotnostným spektrometrom vykonaná na všetkých zvarencoch a vákuových tesneniach.

Audit elektrickej bezpečnosti:Testovanie izolácie Hipot, kontroly kontinuity uzemnenia a overenie obvodovej slučky E-zastavenia.

72-hodinový test horenia:Nepretržité cyklovanie nasucho{0}}suchnutia mechanických rotačných pohonov, spínačov prietoku vody a sekvencií ventilov PLC pred demontážou.

Továrenské akceptačné testovanie (FAT):Vykonáva sa na mieste- na overenie základných úrovní vákua, stability zapaľovania oblúka a rozloženia základnej hrúbky na kalibračných kupónoch.

Odovzdanie požiadavky na zariadenie:Detailed utility drawings specifying floor loading capacity, chilled water specifications (>= 0.3 MPa, 15-25 stupňov ), odsávanie výfukových plynov a poklesy napájania (3-fázové, 380V/480V).

Uvedenie do prevádzky v teréne:Dohľad na mieste zo strany technikov mechanických a elektrických polí, ktorý zahŕňa zarovnávanie, pripojenie a skúšobné šarže.

Školenie operátora:Štruktúrované pokyny na konfiguráciu softvérových receptúr, postupy výmeny katódových cieľov a preventívnu údržbu vákua.

Diaľková diagnostika:Bezpečná priemyselná brána VPN zabudovaná v ovládacom paneli pre softvérovú telemetriu a podporu pri riešení problémov.