Viac{0}}oblúkové zariadenie na nanášanie iónov

Priemyselný viac{0}}oblúkový iónový depozičný systém vytvára husté, vysoko{1}}adhézne tenké filmy prostredníctvom vysoko-prúdového a nízkonapäťového-odparovania katódovým oblúkom. Pevné terčové materiály (katódy) sa odparujú v atmosfére reaktívneho plynu (ako je N2, O2 alebo C2H2), aby sa syntetizovali stechiometrické povlaky zlúčenín. Toto zariadenie, navrhnuté pre vysoké miery ionizácie presahujúce 80 %, poskytuje výnimočnú pevnosť priľnavosti filmu-k{12}}substrátu, ktorá je vhodná pre prostredia s extrémnym mechanickým zaťažením.

Technológia magnetického filtrovaného oblúka:Integrované magnetické cievky odkláňajú makro-častice a kvapôčky preč od prúdu substrátu a vytvárajú ultra-hladké povrchy bez kvapiek- pre presnú optiku a rezné nástroje.

Uzavretá{0}}regulácia prietoku plynu:Regulátory hmotnostného prietoku MKS regulujú parciálny tlak reaktívneho plynu v rámci +/- 0.1 sccm prahových hodnôt stability počas fáz reaktívneho nanášania.

Riadenie teploty substrátu:Programovateľné sálavé ohrievače v kombinácii so zadným chladením argónovým plynom udržujú tepelné rozpočty substrátu medzi 150 C a 600 C.

Automatizovaný proces receptúry:Riadiaca -architektúra založená na PLC, ktorá vykonáva viac{1}}krokové depozičné protokoly od čistenia iónov, gradientného leptania medzivrstvy až po konečné funkčné poťahovanie.

Hrubovacie čerpadlo:Kombinácia Rootsovho dúchadla a rotačného lopatkového mechanického čerpadla (základ Leybold / Edwards).

Vysoká vákuová pumpa:High-throughput diffusion pumps or magnetically suspended turbomolecular pumps (>= 3200 L/s).

Ocenenie a potrubie:Pneumatické nerezové-vákuové posúvače, pneumatické uhlové ventily a elastomérne{1}}utesnené príruby KF/ISO-testované pomocou héliovej hmotnostnej spektrometrie (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Monitorovanie tlaku:Kombinované ionizačné meradlá Pirani a Cold Cathode poskytujúce-spätnú väzbu v reálnom čase v atmosfére až po ultra-vysoké rozsahy vákua.

Cieľové materiály:Titanium (Ti), Chromium (Cr), Aluminum-Titanium (AlTi), Zirconium (Zr), Copper (Cu), Stainless Steel, and custom alloy targets (purity >= 99.95%).

Materiály podkladu:

• Slinuté karbidy (WC-Co)
• Vysokorýchlostné-ocele (HSS)
• Legované ocele (SKD11, 316L, 4140)
• Zliatiny titánu (Ti-6Al-4V)
• Technická keramika a tepelne-superzliatiny odolné

Nástroje na rezanie a tvarovanie:Nanášanie povlakov TiAlN, AlCrN a TiCN na stopkové frézy, doštičky, odvalovacie frézy a raznice na zvýšenie tvrdosti povrchu na 3200 HV a odolnosť voči abrazívnemu opotrebovaniu.

Automobilové komponenty:Usadzovanie tvrdého karbónu (DLC) a CrN na piestnych krúžkoch, čapoch vstrekovania paliva a vačkových hriadeľoch na zníženie koeficientu trenia pod 0,1 v podmienkach suchého chodu.

Lekárske implantáty:TiN a ZrN biokompatibilné difúzne povlaky na kobalt{0}}chrómových a titánových kolenných a bedrových kĺboch, čím sa minimalizuje vyplavovanie kovových iónov a tvorba úlomkov z opotrebovania.

Letecký hardvér:Bariérové ​​povlaky-odolné voči oxidácii pre lopatky turbín a upevňovacie zostavy pracujúce pri zvýšených tepelných prahoch.

Geometria komory:Vertikálny{0}}typ jamy, horizontálne predné{1}}nakladanie alebo dvojité-prechodové dvere{3}}prispôsobené existujúcim-rozloženiam podlahy obchodu.

Integrácia zdroja:Hybridné konfigurácie spájajúce zdroje katódového oblúka s nevyváženými magnetrónovými naprašovacími (Ums) katódami v rámci jednej komory.

Jigging a príslušenstvo:Špeciálne planetárne alebo dvojité{0}}rotačné nástrojové prípravky navrhnuté pomocou CAD/FEM simulácie pre špecifické geometrie komponentov (napr. dlhé vytláčacie lisovnice alebo zložité chirurgické skrutky).

Normy manažérstva kvality:Navrhnuté, vyrobené a testované podľa systémov riadenia kvality ISO 9001:2015 a ISO 14001.

Letectvo a medicína sledovateľnosť:Procesné kontroly a dokumentačné protokoly plne v súlade s požiadavkami NADCAP AC7102 (tepelné spracovanie/zlepšenie povrchu) na požiadanie.

Integrita úniku:Každá vákuová nádoba sa podrobuje testovaniu tesnosti héliovým hmotnostným spektrometrom pred odhlásením zostavy-.

Elektrická bezpečnosť:Vysokonapäťové{0}}testovanie izolačného odporu a kontroly kontinuity uzemnenia v súlade s normami CE/IEC.

Spustiť-testovanie:72-hodinový nepretržitý suchý-test odolnosti mechanických rotačných pohonov, prietokových spínačov chladenia vodou a blokovacích systémov PLC.

Výstupy dokumentácie:Certifikáty o skúške mlyna na materiály (MTC), certifikáty o skúške vákuovej netesnosti, balíky elektrických schém a NIST-vysledovateľné správy o kalibrácii senzorov.

Pokyny na prípravu lokality:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow rates (>= 30 m^3/h), rozsahy okolitej teploty, odsávacie vetranie a poklesy elektrickej energie (3-fázové, 380 V/480 V, 50/60 Hz).

Služby uvedenia do prevádzky:Mechanické polohovanie na mieste, integrácia vákuového potrubia, elektrické pripojenie a optimalizácia základných receptúr vykonávaná rezidentnými vedúcimi technikmi v teréne.

Školenie operátora:5-dňové intenzívne školenie na mieste zamerané na rutinnú údržbu, riešenie problémov s vákuom, protokoly výmeny cieľov a ladenie parametrov pre špecifické štruktúry filmu.

Inventár náhradných dielov:Kritické opotrebiteľné komponenty (katódové izolátory, temné vesmírne štíty, dynamické tesnenia a vláknové polia) sú regionálne skladované na odoslanie do 48 hodín.