Iónové{0}}zariadenia na vákuové odparovanie

Iónový-asistovaný vákuový odparovací systém integruje vysoko{1}}vákuové tepelné alebo elektrónové{2}}vyparovacie zdroje s iónovým zdrojom Kaufman-alebo End{4}}Hallovho typu. Bombardovaním rastúceho filmu ionizovaným plynom (Ar alebo O2) počas fyzikálnej depozície z pár (PVD) systém prenáša kinetickú energiu na adatómy, čím potláča stĺpcovú mikroštruktúru a zabraňuje absorpcii vlhkosti v optických a dielektrických tenkých vrstvách.

Systém bol vytvorený pre integráciu v čistých priestoroch a nepretržitú viac{0}}smennú výrobu. Systém sa rozširuje od výskumných a vývojových stôp (300 mm komory) až po vysoko{2}}výkonné priemyselné linky (900 mm dvojdverové-konfigurácie a konfigurácie s planétovou rotáciou).

Blízka-hustota:Zvýšená pohyblivosť povrchu adatomu eliminuje viditeľnú pórovitosť filmu a maximalizuje mechanickú tvrdosť.

Ladenie vnútorného stresu:Nastaviteľná energia iónového lúča neutralizuje mechanické napätie a zabraňuje delaminácii na hrubých dielektrických vrstvách.

Spracovanie s nízkym-tepelným{1}}rozpočtom:Zahusťovanie-poháňané hybnosťou umožňuje vysoko-náter na polymérové ​​substráty citlivé na teplotu- bez tepelnej deformácie.

Automatizácia receptov:PLC-riadené vákuové blokovania a{1}}sekvenovanie pumpovania riadené pomocou priemyselného dotykového{2}}panela HMI so záznamom údajov.

Fáza hrubovania:Dvojstupňové{0}}lopatkové mechanické čerpadlo v spojení s koreňovým dúchadlom (rýchlosť 150 l/s) pre rýchly prechod.

Stupeň vysokého vákua:Magneticky levitované turbomolekulárne čerpadlo (1 600 l/s) podporované bezolejovým -suchým špirálovým čerpadlom na elimináciu spätného prúdu uhľovodíkov.

Kryogénna možnosť:Integrácia vymrazovača kvapalného dusíka a kryopumpy pre nízky parciálny tlak vodnej{0}}pary.

Meranie vákua:Krížovo{0}}kalibrované meradlá Pirani a Cold Cathode pre spätnú väzbu-v reálnom čase od atmosféry až po 10^-7 Pa.

Odparovacie materiály
Oxidy:Si02, Ti02, Ta205, Nb205, Al2O3

Fluoridy:MgF2, LaF3

Kovy:Al, Ag, Au, Ti, Cr

Kompatibilita substrátu
Optické substráty:Okná z taveného oxidu kremičitého, N-BK7, kremíka, germánia a selenidu zinku.

Polovodičové doštičky:100 mm až 300 mm kremíkové a zložené polovodičové doštičky.

Polyméry:PET, PI (polyimid) a PMMA filmy s použitím parametrov IAD pri nízkych{0}}teplotách.

Presná optika:Anti{0}}reflexné (AR) vrstvy, laserové zrkadlá a úzke pásmové filtre vyžadujúce odolnosť proti vlhkosti.

Mikroelektronika:Kovové hradlové elektródy, adhézne vrstvy a pasivačné bariéry v polovodičových obaloch.

Optoelektronika:Kontakty z priehľadného vodivého oxidu (TCO) a bariérové ​​zapuzdrené vrstvy OLED-.

Geometria komory:Obdĺžnikové alebo valcové konštrukcie prispôsobené obmedzeniam stien čistých priestorov.

Integrácia viacerých-zdrojov:Spolu{0}}odparovacie zostavy s možnosťou umiestnenia až troch E-lúčových kanónov a štyroch termálnych člnov.

In{0}}metrologické porty:Prírubové integračné porty pre spektroskopické elipsometre alebo optické monitorovacie systémy.

Úroveň automatizácie:Polo{0}}automatická výskumná zostava alebo plne automatizovaná manipulácia{1}}na{2}}kazetu.

Detekcia úniku:Testovanie héliovým hmotnostným spektrometrom na každej komore s prísnym prahom odmietnutia < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Overenie čistoty:Pred odoslaním sa vykonalo skenovanie analyzátora zvyškového plynu (RGA), aby sa overilo nulové množstvo organických uhľovodíkov.

Zapálenie systému-:72-hodinový nepretržitý test mechanických pohonov, chladiacich potrubí a elektrických blokovaní nasucho.

Dokumentácia:Certifikáty o skúške lisovne materiálu (MTR), elektrické schémy a správy o teste prevzatia továrne (FAT).

Príprava miesta:Detailed facility guide covering floor loading, chilled water (>= 5 m^3/h), čistý suchý vzduch (CDA) a výfuk.

Uvedenie do prevádzky:Nasadenie terénnej služby pre mechanické vyrovnávanie, pripojenie k sieti, kalibráciu vákua a odhlásenie receptu-.

Školenie operátora:5-dňový program na mieste zahŕňajúci prevádzku, preventívnu údržbu, riešenie problémov a bezpečnostné blokovania.

Náhradné diely:Položky kritického opotrebovania (vlákna, kryštály QCM, tesnenia, turbomolekulárne ložiská) skladované regionálne.