Iónovým-systémom nanášania tenkých vrstiev

Systém iónového-asistovaného nanášania tenkých vrstiev integruje viac-vreckový elektrónový-lúč/tepelné vyparovanie s vysokovýkonným-zdrojom iónov typu End-Hall alebo Kaufman-. Počas fyzikálneho nanášania pár (PVD) bombardovanie energetickými iónmi prenáša hybnosť priamo na adatómy na povrchu substrátu, čím sa eliminujú dutiny v stĺpcovej mikroštruktúre a vytvárajú sa tenké filmy s vysokou{7}}hustotou stabilné voči životnému prostrediu.

Táto platforma, navrhnutá na výrobu presnej optiky, polovodičovej mikroelektroniky a pokročilých výskumných a vývojových zariadení, poskytuje prísnu opakovateľnosť jednotlivých šarží-do{1}}pre zložité optické interferenčné filtre, tvrdé ochranné nátery a pasivačné vrstvy polovodičov.

Momentum-Vylepšená mikroštruktúra:Riadená iónová pomoc zvyšuje pohyblivosť povrchu adatómu, účinne potláča rast pórovitých stĺpcových zŕn a eliminuje posuny indexu lomu spôsobené absorpciou vlhkosti.

Spätná väzba s dvojkanálovou hrúbkou{0}:Integruje duálne mikrováhy z kremenných kryštálov (QCM) spolu s portami širokopásmového optického monitorovania (BOM) na reguláciu hrúbky a rýchlosti na -nanometroch-v reálnom čase.

Ultra{0}}čistá vákuová komora:Vyrobené z nehrdzavejúcej ocele 304L s vnútorným elektro-lešteným povrchom, kovovými-utesnenými DPH posúvačmi a pneumatickými kovovými-tesniacimi prírubami na minimalizáciu uvoľňovania plynov.

Uzavretá regulácia-reaktívneho plynu:Vysoko presné{0}}kontroléry hmotnostného toku (MFC) merajú reaktívny kyslík, dusík a argónové plyny s rozlíšením pod-sccm na zabezpečenie stechiometrických vrstiev zlúčenín.

Hrubovacia čiara:Hermeticky uzavreté, bezolejové-čerpadlá na suché špirály eliminujú riziká kontaminácie uhľovodíkmi vo fázach hrubovania a prednej línie.

Integrácia vysokého vákua:Turbomolekulárne čerpadlá Maglev spojené priamo s hlavnou komorou prostredníctvom vysoko{0}}vodivých pneumatických posúvačov maximalizujú rýchlosť čerpania procesných a zvyškových vodných pár.

Vákuová diagnostika:Redundantné tlakomery Pirani a Cold Cathode poskytujú nepretržité, krížovo{0}}kalibrované zaznamenávanie tlaku z atmosféry až do 10⁻⁷ Pa.

Odparovacie materiály:Dielektrické oxidy: SiO2, Ti02, Ta205, Nb205, HfO2, Al203

Fluoridy:MgF2, LaF3

Žiaruvzdorné kovy:Au, Ag, Al, Ti, Cr, NiCr

Podtypy substrátu:Polovodiče z optického skla (BK7, tavený oxid kremičitý, kremeň), polovodičové doštičky (Silicon, GaAs), monokryštálové substráty (LiNbO₃, zafír) a presné kovové komponenty.

Presná optika:Filtre s úzkopásmovou vlnovou dĺžkou -division multiplexing (WDM), laserové zrkadlá a odolné anti{1}}reflexné (AR) vrstvy pre vysokovýkonné laserové systémy.

Výroba polovodičov:Oxidové dielektrika hradla, kovové prepojovacie adhézne vrstvy zárodkov a ochranné vrstvy proti vlhkosti-.

Pokročilá optoelektronika:Tenkovrstvové polarizátory, vlnovodné obkladové vrstvy a priehľadné{1}}dotykové fólie s vodivým oxidom (TCO).

Komorové uzávery:Vertikálne cylindrické zvončeky, -dvere, dvojité{1}}konfigurácie štvorcových dvierok alebo dizajny pre priechod{2}}čistých priestorov.

Modularita zdroja:Vlastné počítanie vreciek téglika, integrácia sekundárnej magnetrónovej naprašovacej katódy alebo špecializované nastavenia RF predpätia.

Architektúra automatizácie:Prispôsobená logika blokovania PLC, úrovne povolení zabezpečenia SCADA a protokoly-protokolov hostiteľských údajov SECS/GEM.

Overenie komponentov:Všetky konštrukčné príruby, vákuové priechodky, výkonová elektronika a regulátory hmotnostného prietoku sa pred montážou podrobujú individuálnym rozmerovým a elektrickým testom na skúšobnej stolici.

Certifikácia úniku:Zostavené komory sa podrobia testovaniu tesnosti héliovým hmotnostným spektrometrom; prah odmietnutia musí zostať pod 1,0 × 10⁻⁹ Pa·m³/s.

Továrenské akceptačné testovanie (FAT):Povinné 72{1}}hodinové nepretržité overovanie nasucho-zahŕňajúce krivky čerpania,-mechaniku viacosovej planétovej rotácie, bezpečnostné slučky blokovania a stabilitu emisií pištole s elektronickým lúčom.

Dokumentácia:Dodáva sa s výkresmi mechanických zostáv, elektrickými schémami, rozložením P&ID, registrami zdrojov logiky PLC a príručkami preventívnej údržby.

Uvedenie do prevádzky na-stránke:Technici v teréne riadia mechanické polohovanie, prípojky (napájanie, chladiaca voda, stlačený vzduch) a počiatočné vyhrievanie- systému.

Procesné školenie:Zahŕňa základné kalibračné cykly, ladenie parametrov iónového zdroja a školenie bezpečnostného protokolu operátora.

Starostlivosť počas životného cyklu:Vzdialená diagnostická podpora prostredníctvom šifrovaných modulov VPN, regionálneho skladovania náhradných dielov a plánovaných kalibračných auditov.