Popis zariadenia:
· Predstavenie zariadenia:
expresia Molekuly procesného plynu prechádzajúce leptacou komorou sa rozkladajú a ionizujú za vzniku plazmy.
exprimovať Niektoré z aktívnych skupín v plazme chemicky reagujú s povrchom leptaného materiálu;
express Tenkovrstvové leptacie zariadenie prostredníctvom pulzného/rádiofrekvenčného napájacieho zdroja sú kladné ióny v plazme fyzicky bombardované na povrch leptaného materiálu, aby sa povrch materiálu vyčistil, upravil a naleptal kombináciou fyziky a chémie.
· Výhody výbavy:
expresne ultra{0}}nízka teplota leptania, aby sa splnili teplotné požiadavky pri rôznych príležitostiach, môže zabrániť tepelnému namáhaniu a deformácii substrátu;
express Duálny iónový zdroj možno zdvihnúť za obe strany valca, jednoduchá údržba;
expresné zariadenie na leptanie tenkých vrstiev využíva zdroj čistenia iónovým lúčom a jedinečnú technológiu výboja, vysokú hustotu plazmy, čistiaci účinok leptania je dobrý, s dobrou rovnomernosťou;
express Alarm a ochrana: Komplexná bezpečnostná ochrana zahŕňa: teplotnú bezpečnostnú funkciu, funkciu ochrany proti preťaženiu, funkciu ochrany pri prerušení skratu, rôzne funkcie ochrany pred nesprávnou prevádzkou.
Pole aplikácie:
expresné Leptateľné materiály: kovy, ne{0}}kovy, zliatiny, elektronické súčiastky (monokryštalický kremík, amorfný kremík, polykremík, SOI), oxidy kovov, nitridy, karbidy, keramika, polyméry, supravodivé materiály atď.
express Dá sa použiť ako stroj na vyblednutie filmu pre DLC/ta{0}}C filmy.
express Môže byť použitý v: 3C spotrebnej elektronike, elektronických súčiastkach, optike, doprave, nástrojových formách, domácich spotrebičoch, novej energetike, zdravotníctve, výskumných ústavoch a iných odvetviach.
Pred iónovým leptaním Po iónovom leptaní
Populárne Tagy: zariadenia na leptanie tenkých vrstiev, Čína výrobcovia zariadení na leptanie tenkých vrstiev, dodávatelia, továreň, hlboký leptací stroj, kompozitné leptanie materiálu, leptacie zariadenia MEMS, Vzorované leptacie zariadenie, Optické leptacie zariadenie, systém leptania
