Tenkovrstvové zariadenie na odparovanie elektrónového lúča

Séria EBE{0}}V600 je priemyselná-platforma fyzikálnej depozície z plynnej fázy (PVD) navrhnutá na precízne tenké{3}}poťahovanie optických komponentov, polovodičových zariadení a pokročilých materiálov. Nasmerovaním vysokoenergetického, magneticky zaostreného elektrónového lúča na zdrojové materiály vo vnútri vodou chladených téglikov-, systém dosahuje rýchle rýchlosti odparovania a zároveň udržiava tepelné zaťaženie izolované od stien komory.

Architektúra zahŕňa viac{0}}vreckové elektrónové zdroje a duálne kremenné kryštálové mikrováhy (QCM), ktoré zaisťujú stechiometrickú vernosť filmu a konzistentnú kontrolu hrúbky naprieč viac-vrstvovými dielektrickými alebo kovovými vrstvami.

270-stupňová magnetická výchylka E-pištole:Izoluje volfrámové vlákno od priamych ciest výparov, čím zabraňuje skratu-a predlžuje prevádzkovú životnosť medzi intervalmi údržby.

Digitálne ovládanie zametania:Programovateľné rastrové vzory distribuujú elektrónovú energiu rovnomerne po povrchu odparovača, čím zmierňujú tvorbu dier a prednostné vyparovanie počas nanášania zliatiny.

Oddelená vákuová architektúra:Hrubé a vysoko{0}}vákuové čerpacie potrubia sú štrukturálne izolované od rámu hlavnej komory, aby sa potlačil prenos mechanických vibrácií počas rastu filmu.

Bezpečnostná matica hardvérového blokovania:Monitorovanie prietoku chladiacej vody pomocou PLC v reálnom{0}}čase, vysokonapäťová{1}}spätná väzba, pneumatický tlak a integrita tesnenia dverí.

Vákuový podružný-okruh je navrhnutý pre rýchle cyklovanie a nízky základný tlak, aby sa minimalizovalo zabudovanie zvyškového plynu (H2O, O2, N2) do rastúcich filmov:

Vysoké{0}}vákuové čerpadlo:Turbo-molekulárne čerpadlo s rýchlosťou 1 200 l/s podporované dvojstupňovým- rotačným lopatkovým čerpadlom (alebo konfiguráciou suchého špirálového čerpadla na zabezpečenie súladu s čistými priestormi).

Izolačný ventil:Pneumaticky ovládaný posúvač s vysokou{0}}vodivosťou, ktorý izoluje komoru počas zaťažovacích operácií.

Meranie vákua:Kombinované ionizačné meradlá Pirani a Cold Cathode pokrývajúce nepretržitý rozsah od atmosféry do 10^-6 Pa.

Kompatibilné zdroje odparovania

Filtre optického rušenia:Viacvrstvové vrstvenie s vysokým-a nízkym{1}}indexom-pre úzkopásmové filtre a laserové zrkadlá-.

Výroba polovodičového zariadenia:Vytváranie ohmického kontaktu, ukladanie oxidu hradla a vrstvy kovových zárodkov.

Výskum OLED a displeja:Nanášanie na tenkú kovovú katódu a testy viac{0}}vrstvovej organickej/anorganickej pasivácie.

Tvrdé žiaruvzdorné nátery:Ochranné vrstvy-odolné voči opotrebovaniu pre mechanické a letecké komponenty.

Rozšírenie komory:Rozšírené výšky nádob alebo pravouhlé geometrie prispôsobené na integráciu klastrových nástrojov.

Integrácia zdroja:Súbežné zdroje tepelného odparovania (odporové člny) kombinované s delami s elektrónovým lúčom.

Iónové-asistované ukladanie (IAD):Integrácia koncového-Hallovho alebo Kaufmanovho iónového zdroja na zhusťovanie filmu a ladenie stresu.

Softvérová architektúra:Programovanie receptúr PLC/HMI v súlade s automatizačnými rámcami Siemens S7 alebo Beckhoff.

Testovanie úniku hélia hmotnostným spektrometrom:Každý komorový zvar je pred integráciou testovaný na prah odmietnutia < 1 x 10^-9 Pa·m3/s.

Elektrická zhoda:Testy odolnosti dielektrika pri vysokom napätí a overenie kontinuity uzemnenia podľa smerníc CE/UL.

Továrenské akceptačné testovanie (FAT):72-hodinový nepretržitý test na sucho-test zaznamenávanie kriviek základného tlaku, opakovateľnosť zametania e-lúčom a časy odozvy blokovania. Skúšobná dokumentácia dodávaná s jednotkou.

Uvedenie lokality do prevádzky:Továrenskí-certifikovaní inžinieri riadia mechanické zarovnanie, overenie netesnosti vákua, dohľad nad pripojením siete a počiatočné kalibrácie.

Technické školenie:3-dňové školenie o prevádzke a údržbe na mieste týkajúce sa výmeny vlákna, prestavby vákuového ventilu a úpravy receptov.

Výstupy dokumentácie:Kompletné technické viazače vrátane schém P&ID, schém elektrického zapojenia, záložných súborov PLC a položiek náhradných dielov.