Údržba stroja na náter DLC obsahuje hlavne nasledujúce aspekty:
Pravidelné čistenie: Pravidelne čistite rôzne komponenty a časti poťahovacieho stroja vrátane reflektorov, sklenených substrátov, vákuových komôr atď., Aby ste zabránili nečistotám a nečistotám ovplyvňujúce účinok poťahovania. Keď je zariadenie úplne napájané a úplne ochladené, vyčistite prach a zvyškové materiály vo vákuovej komore, najmä v cieľovej oblasti a depozičnej oblasti, ktorú je možné utierať špeciálnym vysávačom alebo bezvodým alkoholom.
Skontrolujte vákuové čerpadlo: Vákuové čerpadlo je jednou z hlavných komponentov poťahového stroja a jeho prevádzkový stav je potrebné pravidelne kontrolovať. Vyčistite filter a olejovú nádrž vákuového čerpadla, aby ste zaistili jeho normálnu prevádzku.
Nahraďte spotrebný materiál: Vymeňte spotrebný materiál používaný na čas v čase podľa použitia, ako sú cieľové materiály, rozprašovacie ciele atď.
Kalibračné parametre: Pravidelne kalibrovať parametre procesu poťahového stroja, ako je rýchlosť depozície, spektrálna odrazivosť atď., Aby sa zabezpečila stabilita a konzistentnosť účinku poťahovania.
Zohľadnite plynový systém: Skontrolujte a vyčistite plynový systém poťahovacieho stroja, aby ste sa uistili, že plynná cesta nie je prejdite a vyhnite sa úniku plynu a iným problémom.
Observujte indikátorový prístroj: Vždy sledujte indikátorový prístroj poťahovacieho stroja, aby ste sa uistili, že všetky parametre sú v normálnom rozsahu.
Regulárna údržba: Okrem pravidelného čistenia je tiež potrebné pravidelne udržiavať rôzne komponenty poťahového stroja, ako je napríklad mazanie prevodového systému, kontrola zapojených portov atď.
